产品分类
目的:
在产品的生产、放置过程中,为防止LD.半导体受静电破坏,特进行一些有关防护对策确认
2. 适用范围:
适用于TDL制造部LD.半导体的静电防护
3. 主管部门:
制造部
4. 人体接地:
4.1作业者静电手腕佩带点检 (是否断线.接地),记录在《防静电手环检测管理表》.
4.2作业者(相关人员)进入静电防护区域须着用防静电帽.防静电衣.防静电鞋
4.2.1防静电鞋鞋底须保持干净
4.2.2触摸一下人体静电除去把手
4.2.3测量防静电鞋是否导通(FOOT CHECKER),记录在《防静电鞋检测管理表》.
4.3作业者椅子使用防静电保护垫
4.4人体接地抗阻为:10Ω以下,记录在《人体设备静电确认表》上.
※ 注意4.2∽4.4只适用TN-MD,完成品及PWB基板
5. 设备、治工具接地:
5.1所有与LD.半导体生产有关的设备、治工具必须接地,并进行点检。烙铁点检(1次/天)填写在《焊锡烙铁抵抗确认表》中;离子风扇、静电气枪除电检测(1次/月)填写在《离子风扇/静电气枪除电确认表》中;接地抵抗测试(1次/年)填写《设备接地与人体接地对地阻抗点检测试结果报告书》;接地线分支线导通检测(1次/月)填写在《人体、设备接地基线与分支线导通测试表》中;设备漏电检测(1次/月)填写《漏电电压测定结果一览表》.SURGE电压检测(1次/半年)填写在《SURGE电压测定结果一览表》,LINE使用的金属治工具及仪器设备的电量用库仑测试器测定(1次/半年),填写在《库仑测定结果一览表》上
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5.2点检日期为规定月的第5日进行,若逢假期顺延
5.3作业台表面须铺有导电垫并接地(其表面固有阻抗为:10 - 10 Ω/squre)
6. 备品静电防护:
6.1使用半导电性塑料制成的部品箱
6.2使用防静电捆包袋
6.3标示使用的CARD CASE必须是防静电素材制成
7. 静电的检测
7.1用表面电位计 FMX-002/SIMCO 检测设备的静电电压400V以下
7.2用表面电位计 FMX-002/SIMCO 检测人体的静电电压200V以下
7.3用表面电位计 FMX-002/SIMCO 检测作业环境的静电电压400V以下